ELID磨削技術(shù)是由日本物理化學(xué)研究所的大森整等人于1987年提出的一種磨削新工藝，其基本原理是利用在線的電解作用對金屬基砂輪進行修整，即在磨削過程中在砂輪和工具電極之間澆注電解磨削液并加以直流脈沖電流，使作為陽極的砂輪金屬結(jié)合劑產(chǎn)生陽極溶解效應(yīng)而被逐漸去除，使不受電解影響的磨料顆粒凸出砂輪表面，從而實現(xiàn)對砂輪的修整，并在加工過程中始終保持砂輪的鋒銳性。ELID磨削技術(shù)成功地解決了金屬基超硬磨料砂輪修整的難題，同時在線電解的微量修整作用使超細(xì)粒度砂輪在磨削過程中能保持鋒銳性，為實現(xiàn)穩(wěn)定的超精密磨削創(chuàng)造了有利條件。


日本的研究人員使用＃8000(最大磨粒直徑約為 2µ m)鑄鐵基金剛石砂輪對硅片進行磨削，獲得了最大表面粗糙度值為0.1µm的高精表面。使用青銅基砂輪對陶瓷材料進行精密磨削也達到了相同的加工效果。哈爾濱工業(yè)大學(xué)采用ELID磨削技術(shù)對硬質(zhì)合金、陶瓷、光學(xué)玻璃等脆性材料實現(xiàn)了鏡面磨削，磨削表面質(zhì)量與在相同機床條件下采用普通砂輪磨削相比大幅度提高，部分工件的表面粗糙度Ra值已達到納米級，其中硅微晶玻璃的磨削表面粗糙度可達Ra0.012µm。這表明ELID磨削技術(shù)可以實現(xiàn)對脆性材料表面的超精加工，但加工過程中仍存在砂輪表面氧化膜或砂輪表面層的未電解物質(zhì)被壓入工件表面而造成表面層釉化及電解磨削液配比改變等問題，有待于進一步研究解決。

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